PVD涂層中溫度的影響
來源:長辰實(shí)業(yè) 日期:2020-06-12
PVD即物理氣相沉積,是當(dāng)前國際上廣泛應(yīng)用的先進(jìn)的表面處理技術(shù)。
PVD涂層是一個(gè)復(fù)雜的過程,尤其是運(yùn)用在工模具上的PVD涂層對(duì)涂層各個(gè)方面的性能都要求非常高,在涂層的工藝過程中有很多因素會(huì)影響到涂層的性能。
1、膜層的生長提高溫度,有利于改善膜層的組織和性能。合適的溫度下400-600℃,TiN,TiAlN等涂層會(huì)獲得較好的硬度和結(jié)合力。
2、pvd涂層過程中溫度與結(jié)合力、硬度等并非呈線性關(guān)系,涂層過程中溫度過低,膜層生長不充分,表面粗糙,耐蝕性和顯微硬度下降。溫度過高,易生成粗大柱狀晶。造成基體材料組織惡化,結(jié)合力下降,膜層性能下降。
3、基材溫度的升高,能夠清除揮發(fā)性殘?jiān)?,增?qiáng)表面擴(kuò)散和再結(jié)晶能力。界面反應(yīng)加速,底層雜質(zhì)擴(kuò)散?;娜诨?。增加結(jié)晶粒子的尺寸。促進(jìn)再結(jié)晶界面外延生長,減少內(nèi)部應(yīng)力,增加步驟覆蓋,增加與基片的相互物理化學(xué)作用需要的涂層溫度取決于工件的金相結(jié)構(gòu)、熱處理、工件幾何形狀,例如,銳邊,薄片快速加熱并且溫度測量十分困難?;‰娏?、基體偏壓和反應(yīng)氣壓也會(huì)影響到溫度??蓮?80℃開始涂層。工件要在不會(huì)引起材料物理變化的溫度下涂層。
4、pvd涂層溫度超過回火點(diǎn),使工件變軟。
5、如涂層真空室零件較少圍繞的工件將聚集更多等離子體,將導(dǎo)致更高的工件溫度和更高的沉積率。
長辰實(shí)業(yè)制造體系現(xiàn)有PVD真空電鍍公司、納米噴涂公司、EMI電磁屏蔽公司、研發(fā)中心、2300夢(mèng)想商學(xué)院等生態(tài)關(guān)聯(lián)產(chǎn)業(yè)。并且為了更好的配合市場的腳步及國際品牌的品質(zhì)要求,并設(shè)有拋光拉絲部;平面研磨部;水鍍事業(yè)部;鍍金(爐內(nèi)/爐外)事業(yè)部;PVD事業(yè)部(全電/間電/多色);UV防指紋事業(yè)部;納米噴涂事業(yè)部;EMI電磁屏蔽事業(yè)部;新材料開發(fā)事業(yè)部;并配有齊全的各種檢測儀器:鹽霧測試機(jī)、耐磨測試機(jī)、色差觀察機(jī)、PCA、色差儀、百格、高低溫、人工汗測試機(jī)、膜層測量器等。
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